| 강의제목 | TCAD S/W를 활용한 MOSFET 소자 설계(이론) | 일정 | 2021.12.27~2021.12.28 | ||||||||||||||||||||||||
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| 강의목표 | TCAD 상용 S/W를 활용해서 Wafer제작없이 CMOS기반 소자/공정 특성Simulation 및 MOSFET설계와 평가를 한다. 단위 공정 (산화, 이온주입 영향 등)이해, CMOS 집적공정(Process Integration)개념, Hot carrier effect 등 신뢰성을 고려한 MOSFET설계 방법을 배운다. Tool사용, 집적 공정과 MOSFET 특성 이해를 통해 소자 설계하는 능력을 배양한다. | ||||||||||||||||||||||||||
| 강의개요 | 코로나 상황으로 online 수업.; 소자/공정 이론 및 TCAD MOSFET설계 방법 및 과정을 설명,공정/소자 Simulator구성과 input file 이해 산화/확산/이온주입 조건에 따른 공정 특성 과 소자특성 확인 (공정/소자 model 간단히 소개), 집적공정 각 step변경에 따른 소자 특성(Vth,Ids) 및 HCE 이해. 제시된 target 특성을 만족하는 MOSFET설계와 특성 평가 |
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| 강의장소 | 온라인ZOOM | ||||||||||||||||||||||||||
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