| 강의제목 | TCAD를 활용한 반도체소자/공정 설계 | 일정 | 2025.07.01~2025.07.03 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 강의목표 | - TCAD 툴을 활용한 반도체공정 시뮬레이션 및 공정결과 분석 - TCAD 툴을 활용한 반도체소자 설계와 특성 예측 |
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| 강의개요 | 본 강의를 통해 Silvaco Athena(공정) 툴을 활용하여 반도체 단위공정(산화, 확산, 이온주입, 증착, 식각, 열처리 등) 및 종합공정에 대한 시뮬레이션과 이를 통한 공정결과 분석을 진행한다. 또한, Silvaco Atlas(소자) 툴을 활용하여 반도체소자를 설계하고 특성을 예측하는 실습을 진행한다. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 강좌상세 |
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| 강의장소 | 충북대학교 전자정보2관(E10동) 218호 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 수강신청 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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